Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
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- Pages.433-434
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- 2009
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- 1598-2548(pISSN)
Vibration test and analysis of the nano-imprinting stage by using laser-vibrometer and MSC/NASTRAN
레이져 바이브로 미터와 MSC/NASTRAN을 이용한 나노 임프린팅 스테이지의 진동 실험 및 해석
- Published : 2009.10.29
Abstract
Keywords