다자유도 소형 스테이지 제작을 위한 피에조 선형모터의 구동특성 연구

A Study on the Driving Characteristics of Piezoelectric Ultrasonic Linear Motor for Multi-DOF Miniaturized Stage

  • 김유현 (한국산업기술대학교 기계시스템설계) ;
  • 유호성 (한국산업기술대학교 기계설계 공학과) ;
  • 강병훈 (한국산업기술대학교 기계설계 공학과)
  • 발행 : 2009.06.03