Study of High aspect ratio pattern development use the Electrostatic Inkjet

정전기력 잉크젯을 이용한 고 종횡비 패턴 제작에 관한 연구

  • 김형찬 (제주대학교 전자공학과) ;
  • 고정범 (제주대학교 전자공학과) ;
  • 김동수 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 도양회 (제주대학교 전자공학과) ;
  • 최경현 (제주대학교 메카트로닉스공학과)
  • Published : 2009.10.26