대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
- /
- Pages.2057_2058
- /
- 2009
전도성 박막의 두께 측정기 개발
A Development of Thickness Meter for Conductive Thin Film
- Kang, Jeon-Hong (KRISS) ;
-
Yu, Kwang-Min
(KRISS) ;
-
Kim, Han-Jun
(KRISS) ;
-
Han, Sang-Ok
(Chungnam National University)
- 발행 : 2009.07.14
초록
반도체 및 평판표시장치(Flat Panel Display) 공정에서 필수적으로 사용되는 박막 두께 측정기를 개발하였다. 측정방식은 FPP법의 dual configuration 측정원리를 적용하였으며 측정범위는 수 nm ~수십
키워드