Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2009.07a
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- Pages.1549_1550
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- 2009
Thermal stress and IR radiation of poly-silicon IR source
Poly-silicon IR source의 thermal stress 및 방사특성 평가
- Shin, Kyu-Sik (Korean Electronics Technology Institute, Convergence Sensor & Device Research Center) ;
- Lee, Dae-Sung (Korean Electronics Technology Institute, Convergence Sensor & Device Research Center) ;
- Whang, Hak-In (Korean Electronics Technology Institute, Convergence Components R &D Division)
- Published : 2009.07.14
Abstract
본 연구에서는 적외선 가스 센서용 IR source에 대한 연구를 진행하였다. MEMS 공정을 이용하여 poly-silicon을 IR source의 발열체로 사용하였다. Chip size는
Keywords