대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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- Pages.1319_1321
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- 2009
사이클로헥산을 이용한 다이아몬드 박막제작 연구
A Study on the Fabrication of Diamond Thin-Film from Cyclo-Hexane Using MW Plasma Process
- Han, Sang-Bo (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
- Park, Sang-Hyun (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
- Park, Jae-Youn (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
- Lee, Seoung-Ji (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
- Kwak, Tae-Young (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University)
- 발행 : 2009.07.14
초록
본 논문은 마이크로웨이브 플라즈마 프로세스에 의하여 사이클로헥산을 이용한 다이아몬드 박막 제작에 관한 산소유량 변화 및 파라메타 변화에 따른 분광분석 결과에 대하여 논하였다. 인가전력을 증가시킴에 따라서 수소원자의
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