대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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- Pages.1277_1278
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- 2009
열처리에 의한 비정질 산화물 반도체 $InGaZnO_4$ 박막의 전기적 특성 변화 연구
Effect of annealing on the electrical properties of amorphous oxide semiconductor $InGaZnO_4$ films
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배성환
(서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
- 구현 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
- 유일환 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
- 정명진 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
- 강석일 (전북대학교 물리학과) ;
- 박찬 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
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Bae, Sung-Hwan
(Seoul National University) ;
- Koo, Hyun (Seoul National University) ;
- Yoo, Il-Hwan (Seoul National University) ;
- Jung, Myung-Jin (Seoul National University) ;
- Kang, Suk-Ill (Chonbuk National University) ;
- Park, Chan (Seoul National University)
- 발행 : 2009.07.14
초록
Amorphous oxide semiconductor
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