Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

플라즈마를 이용하여 소수성 처리 된 표면의 EHD 제트를 통한 패터닝 특성 비교 연구

  • 오종식 (성균관대학교, 전자전기공학과) ;
  • 최재용 (성균관대학교, 전자전기공학과) ;
  • 이석한 (성균관대학교, 전자전기공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교, 신소재공학과)
  • Published : 2008.11.19
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

EHD(Electrohydrodynamics, 전기수력학)를 기반으로 한 정전기장 유도 잉크젯(또는 EHD jet) 헤드는 적층, 식각 작업 등의 일련의 과정을 생략하게 해줌으로써 마이크로 단위의 패 터닝 작업을 용이하게 해주고, 대기압 플라즈마 발생장치를 이용한 표면의 개질은 친수성 특성을 갖는 표면을 소수성 특성을 갖도록 변형시켜 주어 접촉각을 높임으로써 패턴의 크기를 줄여주는 효과가 있다. 본 연구에서, 대기압 플라즈마 발생 장치를 이용하여 유리의 표면을 소수성 특성을 갖도록 개질하여 정전기장 유도 잉크젯 헤드 장치를 이용한 패터닝 작업시, 패턴의 크기를 대폭 감소시키는 효과를 얻을 수 있었다.

Keywords