Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

질화물 계 발광다이오드의 광추출 향상을 위한 투명전극 패터닝 공정

  • 변경재 (고려대학교, 신소재공학과) ;
  • 홍은주 (고려대학교, 신소재공학과) ;
  • 황재연 (고려대학교, 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교, 신소재공학과)
  • Published : 2008.11.19
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Abstract

최근 질화물 계 발광다이오드의 광추출효율을 향상시키기 위하여 발광다이오드의 발광면을 texturing하는 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 직접 패터닝 방식인 나노 임프린팅 공정을 이용하여 blue 발광다이오드의 indium tin oxide (ITO) 투명전극 층에 sub-micron 크기의 hole이 주기적으로 정렬된 구조의 폴리머 패턴을 형성하였으며 임프린팅 공정 후 건식 식각 공정을 통해서 ITO 층을 식각하였다. 그 결과 ITO 투명전극 층에 발광다이오드의 광추출효율을 향상시키기 위한 sub-micron 급의 주기적인 hole 패턴이 형성되었다.

Keywords