Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

반도체 공정에서의 진공 시스템 구성 및 역할

  • 박태진 (삼성전자(주) 메모리 사업부 생산기술 2팀) ;
  • 채승기 (삼성전자(주) 메모리 사업부 생산기술 2팀) ;
  • 김성협 (삼성전자(주) 기술총괄 기구인프라 그룹)
  • Published : 2008.08.20
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