한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
- /
- Pages.331-331
- /
- 2008
New Concept Deposition System : Growth of Amorphous and Microcrystalline Si prepared by CVD at low Temperature
- 발행 : 2008.08.20