HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성

  • 이도영 (인하대학교 화학공학과) ;
  • 정지원 (인하대학교 화학공학과)
  • Published : 2008.08.20