Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.305-305
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- 2008
대향타겟식 스터터를 이용한 ITO박막의 산소 가스의 유량에 따른 효과
- Kim, Yeon-Jun ;
- Jin, Su-Bong ;
- Kim, Seong-Il ;
- Bao, Sarula ;
- Choe, Yun-Seok ;
- Choe, In-Sik ;
- Han, Jeon-Geon
- 김연준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
- 진수봉 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
- 김성일 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
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- 최윤석 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
- 최인식 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
- 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords