Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.297-297
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- 2008
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 $SiO_x$ 박막연구
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords