한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

펄스 파워 유도결합 플라즈마 특성 연구

  • 서상훈 (한국과학기술원, 물리학과, 저온플라즈마 실험실) ;
  • 이정범 (한국과학기술원, 물리학과, 저온플라즈마 실험실) ;
  • 윤주미 (한국과학기술원, 물리학과, 저온플라즈마 실험실) ;
  • 유대호 (한국과학기술원, 물리학과, 저온플라즈마 실험실) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원, 물리학과, 저온플라즈마 실험실)
  • 발행 : 2008.08.20
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