Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.294-294
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- 2008
첨가물이 포함된 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정
- Jo, Seok-Ho ;
- Hong, Seong-Hui ;
- O, Hyeon-Ju ;
- Gwon, Gi-Cheong ;
- Jo, Gwang-Seop ;
- Gang, Seung-Eon ;
- Choe, Eun-Ha
- 조석호 (광운대학교, 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 홍성희 (광운대학교, 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 오현주 (광운대학교, 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 권기청 (광운대학교, 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 조광섭 (광운대학교, 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 강승언 (광운대학교, 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터) ;
- 최은하 (광운대학교, 전자물리학과 대전입자빔 연구실/PDP 연구센터)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords