Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

r.f 마그네트론 스퍼터링에서의 BN film의 합성 인자에 대한 고찰

  • 문장원 (한국기계연구원 부설 재료기술연구소 표면기술연구부) ;
  • 나종주 (한국기계연구원 부설 재료기술연구소 표면기술연구부) ;
  • 권식철 (한국기계연구원 부설 재료기술연구소 표면기술연구부) ;
  • 변응선 (한국기계연구원 부설 재료기술연구소 표면기술연구부) ;
  • 이성훈 (한국기계연구원 부설 재료기술연구소 표면기술연구부)
  • Published : 2008.08.20
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Abstract

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