대면적/고주파 축전결합 플라즈마에서의 플라즈마 불균일 현상 및 이의 극복

• An, Seung-Gyu (KAIST) ;
• Na, Byeong-Geun (KAIST) ;
• Kim, Yong-Hun (KAIST) ;
• Jang, Hong-Yeong (KAIST)

• 안승규 (한국과학기술원) ;
• 나병근 (한국과학기술원) ;
• 김용훈 (한국과학기술원) ;
• 장홍영 (한국과학기술원)

• Published : 2008.08.20

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