한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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- Pages.271-271
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- 2008
플라즈마에서 OES(Optical Emission Spectroscopy)를 통한 leak 발생 감지 기술
- 편승철 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 권준혁 ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 성대진 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 김정형 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 유신재 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터)
- Pyeon, Seung-Cheol ;
- Gwon, Jun-Hyeok (KAIST) ;
- Sin, Jae-Su ;
- Seong, Dae-Jin ;
- Kim, Jeong-Hyeong ;
- Yu, Sin-Jae ;
- Sin, Yong-Hyeon
- 발행 : 2008.08.20