Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

모세관 현상 제어를 위한 Blade Jig 최적화에 관한 연구

  • 이민호 (삼성전자 공과대학교) ;
  • 김동환 (MEMORY사업부 공정관리1그룹) ;
  • 조영민 (LCD총괄 T-P/J(HD) L/C1파트) ;
  • 성태경 (LCD총괄 T-P/J(HD) L/C1파트)
  • Published : 2008.08.20
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