Precursor의 증기압측정 및 이를 이용한 기상순도(purity) 측정 연구

  • 서경천 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 유승민 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 신재수 (대전대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.08.20