Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

RF방전에서의 Micro-arcing에 의한 플라즈마 변화

  • 김용훈 (한국과학기술원 물리학과 저온 플라즈마 실험실) ;
  • 서상훈 (한국과학기술원 물리학과 저온 플라즈마 실험실) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원 물리학과 저온 플라즈마 실험실)
  • Published : 2008.08.20
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Abstract

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