Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.193-193
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- 2008
반도체 및 디스플레이 공정용 진공부품의 내식 성능평가 연구
- Yu, Seung-Min ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Gang, Sang-U ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Na, Jeong-Gil ;
- Seo, Gyeong-Cheon ;
- Sin, Jae-Su
- 유승민 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 나정길 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 서경천 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords