Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.139-139
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- 2008
CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정 박막 형성 및 특성 연구
- Hwang, Jae-Dam ;
- Lee, Gyeong-Min ;
- Kim, Tae-Hwan ;
- Won, Seong-Hwan ;
- Seok, Jung-Hyeon ;
- Park, Gyeong-Wan ;
- Hong, Wan-Sik
- 황재담 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 이경민 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 김태환 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 원성환 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 석중현 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 박경완 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 홍완식 (서울시립대학교 나노과학기술학과)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords