Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

RF Power 변화에 따른 AZO(ZnO:Al) 박막의 특성 연구

  • 권순기 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 주상현 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 석중현 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 원성환 (서울시립대학교 나노과학기술학과)
  • Published : 2008.08.20
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords