$Cl_2$/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각

• 이도영 (인하대학교 화학공학과) ;
• 김종성 (경원대학교 화학생명공학과) ;
• 정지원 (인하대학교 화학공학과)

• Lee, Do-Yeong ;
• Kim, Jong-Seong ;
• Jeong, Ji-Won

• 발행 : 2008.08.20

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