한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Preparation of Gallium Oxide Thin Films by ALD Using Dimethylgallium Isopropoxide and Water

  • 이희주 (고려대학교 신소재화학과) ;
  • 우정준 (고려대학교 신소재화학과) ;
  • 전두진 (고려대학교 신소재화학과) ;
  • 김윤수 (고려대학교 신소재화학과) ;
  • 조용재 (한국표준과학연구원 나노바이오융합연구단) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 나노바이오융합연구단)
  • 발행 : 2008.08.20
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