Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.81-81
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- 2008
R.F. 스퍼터링을 이용한 $Cu_xN$ 박막의 증착 및 펜타센 반도체 소자에서의 소스/드레인 전극 특성 분석
- Yun, Dong-Jin (POSTECH) ;
- Im, Sang-Hun (POSTECH) ;
- Lee, Si-U (POSTECH)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords