Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
/
Pages.605-606
/
2008
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Parametric Study on Swelling Phenomenon of Focused Ion Beam Processes

집속이온빔 공정에서 스웰링에 영향을 주는 인자에 관한 연구

윤태기 (연세대학교 기계공학부) ;
김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
이상조 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2008.06.11

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords