Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2008.06a
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- Pages.591-592
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
Wide Range Frequency Tuning by Mechanical Restriction using MEMS Actuator and Bi-stable Mechanism in Micro Mirror
MEMS 구동기와 바이스테이블 메커니즘을 이용한 기계적 구속에 의한 정전기적 회전 구동기의 광범위 주파수 튜닝
- Published : 2008.06.11