한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

리소그래피 공정을 이용한 미세패턴-롤 제작

Fabrication of Micropatterned-Roll using Lithography Process

  • 조정대 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 유종수 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 김광영 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 최병오 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 이응숙 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
  • 발행 : 2008.06.11
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