한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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- Pages.376-376
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- 2008
반도체 공정용 드라이펌프의 저소비 전력 특성 분석
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임종연
(한국표준과학연구원)
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정완섭
(한국표준과학연구원)
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- 최학용 (건양대학교) ;
- 박상명 (한국연합대학원) ;
- 문병훈 ((주)삼성전자 생산기술2팀) ;
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신용현
(한국표준과학연구원)
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Im, Jong-Yeon
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Jeong, Wan-Seop
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- Choe, Hak-Yong ;
- Park, Sang-Myeong ;
- Mun, Byeong-Hun ;
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Sin, Yong-Hyeon
- 발행 : 2008.02.14