Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

탄소나노튜브 가스센서를 이용한 패키징된 소자의 진공도 변화 측정

  • 문승일 (고려대학교 전기전자전파공학과) ;
  • 이윤희 (고려대학교 물리학과) ;
  • 박헌국 (경희대학교 의공학과) ;
  • 김재경 (한국과학기술연구원) ;
  • 김수원 (고려대학교 전기전자전파공학과) ;
  • 주병권 (고려대학교 전기전자전파공학과)
  • Published : 2008.02.14
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