RF magnetron sputtering 방식을 이용하여 직접 증착된 HfO$_2$ flim의 열처리에 따른 구조 및 전기적 특성에 관한 연구

• Lee, Eul-Taek ;
• Kim, Byeong-Gyun ;
• Park, Jae-Gyeong ;
• Jeong, Seok-Won ;
• No, Yong-Han

• 이을택 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 김병균 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 박재경 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 정석원 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)

• Published : 2008.02.14

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