반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석

• 김병균 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 이을택 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 박재경 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 정석원 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)

• Kim, Byeong-Gyun ;
• Lee, Eul-Taek ;
• Park, Jae-Gyeong ;
• Jeong, Seok-Won ;
• No, Yong-Han

• 발행 : 2008.02.14

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