Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.341-341
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- 2008
유기물 개질에 의한 저유전 규칙성 메조포러스 실리카 박막의 특성 연구
- Choe, Seon-Gyu ;
- Ha, Tae-Jeong ;
- Reddy, A. Sivasankar ;
- Park, Hyeong-Ho ;
- Yu, Byeong-Gon
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords