Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Dual Arc Ion Plating법에 의한 Cr 첨가 질화탄소 박막의 특성 평가

  • 이경황 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소) ;
  • 박영희 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 설비.자동화연구센터) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 설비.자동화연구센터)
  • Published : 2008.02.14
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords