Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.310-310
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- 2008
SiO$_{1.3}$ 유전체 내에 2중 구조로 형성된 금 나노 입자를 사용한 나노 부유 게이트 비휘발성 메모리 소자의 특성 향상
- Lee, Dong-Uk ;
- Lee, Min-Seung ;
- Seo, Gi-Bong ;
- Han, Seung-Jong ;
- Kim, Eun-Gyu ;
- Sin, Jin-Uk ;
- Jo, Won-Ju ;
- Kim, Won-Mok
- 이동욱 (한양대학교 물리학과) ;
- 이민승 (한양대학교 물리학과) ;
- 서기봉 (한양대학교 물리학과) ;
- 한승종 (한양대학교 물리학과) ;
- 김은규 (한양대학교 물리학과) ;
- 신진욱 (광운대학교 전자재료 공학과) ;
- 조원주 (광운대학교 전자재료 공학과) ;
- 김원목 (한국과학기술원)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords