Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.308-308
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- 2008
O$_2$ 표면처리에 ashing 의한 Bio-MOSFET 소자의 특성 열화 및 후속 열처리에 의한 특성 개선
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords