Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Pseudo-MOSFET을 이용한 SiGe-on-SOI 의 Ge 농도에 따른 기판의 특성 평가 및 열처리를 이용한 전기적 특성 개선 효과

  • 박군호 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 정종완 (세종대 나노공학과) ;
  • 조원주 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2008.02.14
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