Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2008.02a
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Pages.300-300
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2008

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Hyper-thermal Neutral Beam을 이용한 저온 SiO$_2$ 박막 형성

손혁준 (국가핵융합연구소) ;
김종식 (국가핵융합연구소) ;
김대철 (국가핵융합연구소) ;
유석재 (국가핵융합연구소) ;
박영춘 (한동대학교 정보통신공학과) ;
이봉주 (국가핵융합연구소)

Published : 2008.02.14

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