Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.295-295
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- 2008
ZnO:N 박막 성장을 위한 유도결합 플라즈마 발생 및 처리
- Lee, Du-Hyeong ;
- Lee, Seok-Gwan ;
- Gwon, Sae-Rom ;
- Hong, Jin-Seok ;
- Jeong, Bo-Hyeon ;
- Kim, Hui-Su ;
- Kim, Yong-Min ;
- Hyeon, Jun-Won ;
- No, Seung-Jeong
- 이두형 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 이석관 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 권새롬 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 홍진석 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 정보현 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 김희수 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 김용민 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 현준원 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 노승정 (단국대학교 응용물리학과)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords