R-plane (1102) 사파이어 기판위에 rf-마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 고품위 non-polar 산화아연 박막

  • 황대규 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 오민석 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 최용석 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 조주영 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2008.02.14