Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.216-216
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- 2008
저온 다결정 AlN 박막증착과 물성에 관한 연구
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Chae, Ju-Hyeon
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- Park, Hwan-Jin ;
- Lee, Jae-Yeong ;
- Choe, Jong-In ;
- Ju, Dae-Hyeon ;
- Park, Ji-Hye ;
- Yang, Jong-U ;
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Kim, Dae-Il
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채주현
(울산대학교 첨단소재공학과)
;
- 박환진 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 이재영 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 최종인 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 주대현 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 박지혜 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 양종우 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
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김대일
(울산대학교 첨단소재공학과)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords