Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.214-214
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- 2008
ICP 보조형 RF Magnetron Sputter를 이용한 HfN 박막의 물성 연구
- Ju, Dae-Hyeon ;
- Lee, Jae-Yeong ;
- Yang, Jong-U ;
- Choe, Jong-In ;
- Park, Ji-Hye ;
- Park, Hwan-Jin ;
- Chae, Ju-Hyeon ;
- Cheon, Hui-Gon
- 주대현 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 이재영 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 양종우 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 최종인 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 박지혜 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 박환진 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 채주현 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 천희곤 (울산대학교 첨단소재공학과)
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords