펄스 마그네트론 스퍼터링 소스에서 time-resolved cutoff probe 진단과 플라즈마의 Loss 특성, Modified Global Model을 이용한 박막에 가해지는 ion energy flux density의 분석

• In, Jeong-Hwan ;
• Na, Byeong-Geun ;
• Jang, Hong-Yeong ;
• Han, Jeon-Geon

• 인정환 (한국과학기술원 물리학과) ;
• 나병근 (한국과학기술원 물리학과) ;
• 장홍영 (한국과학기술원 물리학과) ;
• 한전건 (성균관대학교 신소재공학부)

• Published : 2008.02.14

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