한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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- 2008
Pulsed-DC Magnetron Sputtering Source에서 Pulse Duty, 자기장의 세기, Target 물질의 종류에 따른 단위 파워당 증착률 특성
- An, Sang-Hyeok (KAIST) ;
- In, Jeong-Hwan (KAIST) ;
- Jang, Hong-Yeong (KAIST) ;
- Han, Jeon-Geon
- 발행 : 2008.02.14