Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.200-200
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- 2008
Pulsed-DC Magnetron Sputtering Source에서 Pulse Duty, 자기장의 세기, Target 물질의 종류에 따른 단위 파워당 증착률 특성
- An, Sang-Hyeok (KAIST) ;
- In, Jeong-Hwan (KAIST) ;
- Jang, Hong-Yeong (KAIST) ;
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Han, Jeon-Geon
- Published : 2008.02.14
Abstract
Keywords