한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
- /
- Pages.181-181
- /
- 2008
Plasma reactor에서 Gas 주입구의 배열 구조에 따른 공정 균일도 개선 모델링
Numerical modeling for process uniformity improvement of a plasma reactor by optimization of gas inlet configuration
- 발행 : 2008.02.14