한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰

  • 진수봉 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김성일 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2008.02.14
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